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Process development for nanostructuring and 3D micro/nanointegration

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Autor:
Tobias Senn
Verfügbarkeit:
Auf Lager.
Artikelnummer:
993326
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  • Produktbeschreibung

    Process development for nanostructuring and 3D micro/nanointegration

    Micro- and Nanostructures significantly influence the physical and chemical properties of surfaces. Therefore, such structures can be used to functionalize surfaces and adjust the surface properties to the specific requirements of a certain application. A remaining challenge is the integration of functional structures into micro devices to achieve e.g. patterning in 3D, 3D surface structures and sidewall patterning. This work is focused on the development of processes to achieve both, the accurate replication of micro and nanostructures as well as the integration of functional surface structures into micro devices.

  • Zusatzinformation

    Autor
    Bindung
    Taschenbuch
    Verlag
    Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften
    ISBN / EAN
    9783838150284

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